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JXT-1000系列为单臂多关节型洁净大气机器人，主要用于晶圆加工、检测等过程中的搬运，传送。适用于2/4/6/8/12寸等尺寸晶圆，具有高精度高稳定性，高洁净度等特点。产品可根据晶圆形状，尺寸，材质，生产需求进行定制化服务。
机械手臂标准臂长:100mm,160mm,210mm等(可定制)
控制通讯方式:以太网端口及并口I/O方式
全轴采用绝对值编码器的电机
S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化，能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式:真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
手指可翻转，可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
| 单臂机械手规格 | ||
| 机械手臂规格 | JXT-1000 系列 | |
| 被搬运物 | 2/4/6/8/12寸标准尺寸晶圆、玻璃基板（可定制） | |
| 机械手臂标准臂长 | 100mm, 160mm, 210mm 等（可定制） | |
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式, 边缘夹持式，伯努利非接触式等 | |
| 重复性精度 | 士0.1mm 以内 | |
| 机械结构格式 | 圆柱坐标 | |
| 电机类型 | 伺服电机/步进电机 | |
| 控制轴 | 3轴 | |
| 额定负载 | 0.5kg | |
| 可动范围（手臂第3关节中心基准） | 被搬送物体中心到达距离 | 以机械图纸为准 |
| 旋转角度(θ轴) | 340度 | |
| 升降(Z轴) | 以机械图纸为准 | |
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 570 mm/sec |
| 旋转角度(θ轴) | 220度/sec | |
| 升降(Z轴) | 200 mm/sec | |
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 1140 mm/sec |
| 旋转角度(θ轴) | 270度/sec | |
| 升降(Z轴) | 250 mm/sec | |
| 洁净度 | ISO标准 Class1-3 (驱动结构内部独立排气条件下) | |
| 厂务 | 电源:单相 AC220V士10% 2kVA 真空:优于-53kPa(使用真空吸附式手指) | |
| 质量 | 大约25kg | |
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