JXT-1000 单臂晶圆传输机器人

JXT-2000 双臂晶圆传输机器人

STX-1000 单臂双手指晶圆传输机器人

A-100 晶圆校准器

超高精度晶圆校准器

用于机器人动作点位的设定和机器人状态监控

用于机器人的平行移动，伺服电机加直线滑轨驱动...

传感器类型：高精度反射式激光检测/对射式光纤检测

控制方式：RS232C或以太网